構造と特徴

業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のVP型真空ポンプ

YKS(四葉機械製作所)製VP型真空ポンプは、他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ・真空ポンプです。ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたYKSの直接口-ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ・オイルフリー型”となっています。しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 YKSの開発した直接口-ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用しているため、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製(普通鋳鉄の1.8倍)の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為、製作が不可能でした。当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。

用途:VP型はこのような仕様に常に安定した真空を提供いたします。

真空蒸留 真空溶解 真空濃縮 CVD
真空脱気 PSA 真空包装 スパッタリング
真空乾燥 真空熱処理 真空脱臭 エッチング
真空鋳造 真空焼結 真空蒸着 真空チャック

VP型ドライポンプがあなたのお悩みを解決します。

  • 腐蝕性ガスを吸引する
  • 高温ガスを吸引したい
  • 真空ポンプの廻りが油で汚れる
  • 排水処理が問題
  • 中間冷却機のドレン抜き作業が手間
  • 微量の粉塵を吸引する
  • 凝縮性ガス、凝固性ガスを吸引する
  • 温度変化の為、真空度が不安定
  • 設置スペースが大きい
  • 電気代、水道代が高い
  • オイルバック減少の為真空層の汚染
  • 封油の消費劣化が早い
  • ドレン凝縮液の為連続運転が出来ない
  • 真空ポンプ以外の設備が必要
  • 真空ポンプの耐久性が無い
  • アフターメンテナンスに手間が掛かる

構造と特徴

vacuum pump mechanism

VP型真空ポンプの作動イメージ

完全なドライクリーンバキュームです。封油水等の混入は一切ありません。

  • 真空室と冷却、潤滑室とは完全に切り離され、独立した排気系を持つ構造である為、水・油等の混入は一切ありません。
  • ローターとケーシングは無接触で回転しますので磨耗がありません。

凝縮性ガス・凝固性ガス吸引に於ける対策と対応

  • このポンプは真空室各段の底部を加熱することにより、ポンプ内でのガスの凝縮を防ぎ、運転中でも排気側で簡単にドレンを回収出来ます。加熱用としてのスチームトレース用配管はオプションとして用意されています。
  • ポンプ内部に付着するような凝固性ガスに対しては、ポンプ上部に有る内部洗浄用ノズル孔(標準装備)より、溶剤やスチームにより簡単に洗浄が出来ます。
  • 又、冷却水の代りに温水(MAX 60°C)を使用する事によって凝縮性、凝固性ガス吸引に対応することも出来ます。

凝縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます

  • 凝縮性の有るガスを吸引した場合でもローターで強制的に排出し、ポンプ内に凝縮液を滞留させることなく、連続運転を可能とします。
  • 排気側にアフタークーラーを取り付ければ効率良く溶剤等の回収が出来ます。
  • 直接冷却方式だから中間冷却器(インタークーラー)が不要である為、凝縮液が排出され易い構造と成っています。

真空ポンプケーシング内の内部洗浄が容易に行えます

  • 真空ポンプの内部に付着する様な凝縮・凝固する液体に対しては、内部洗浄用のノズル孔より溶剤等を注入し洗浄が簡単に出来ます。
  • 運転中に於ても洗浄が出来る方法が有ります。

高温ガス(約130°C)を直接吸引することが出来ます

  • 直接冷却方式である為高温ガス吸引も可能です。(機種・材質により異なります。お問い合わせ下さい)

吸引と同時に圧送が出来ます

  • 標準型で背圧MAX0.5kg/㎠Gまで、特殊型でMAX1kg/㎠Gまで出来ます。

大気圧より締切り運転までの各真空度での連続運転が出来ます 接ガス部材質についての対応

  • 腐蝕性ガス、特殊ガス吸引の場合、接ガス部材質については種々の選定が出来ます。

真空ポンプ接ガス部材質 凝縮性ガス・凝固性ガス吸引に於ける対策と対応

  • このポンプは真空室各段の底部を加熱することにより、ポンプ内でのガスの凝縮を防ぎ、運転中でも排気側で簡単にドレンを回収出来ます。加熱用としてのスチームトレース用配管はオプションとして用意されています。
  • ポンプ内部に付着するような凝固性ガスに対しては、ポンプ上部に有る内部洗浄用ノズル孔(標準装備)より、溶剤やスチームにより簡単に洗浄が出来ます。
  • 又、冷却水の代りに温水(MAX60°C)を使用する事によって凝縮性、凝固性ガス吸引に対応することも出来ます。

あくまでもドライポンプを追求した均圧機構

  • 真空ポンプのスタート時にはオイル室内のオイルが、真空発生によりグランド部ヘガスの流れ込みと共に流れ込もうとします。これを防止する為の機構としてVPには他には類の無い安全対策を施した均圧機構を標準装備として備えています。
  • 均圧機構をオイル室外に設ける事でオイルの分離性能が向上しました。又、オイルシールの差圧による負担を少なくし、シール性を高めると同時に寿命を延ばします。

逆回転防止機構

  • VP型はルーツ式である為、吸入側か真空のままポンプを停止するとガスの逆流現象が発生しローターが逆転します。ポンプの故障だけでなく真空装置の汚染にもなる為、逆転防止機構が標準装備されています。

過圧縮防止機構

  • VP型は大気圧より到達真空度(締切り運転)までの全域をスムーズに運転出来る様に過圧縮防止機構が備わっています。これにより大気圧の近辺における過圧縮によるオーバーロードを防止しています。